ДСТУ ГОСТ 8.593:2014 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (ГОСТ 8.593-2009, IDТ)

НАЦІОНАЛЬНИЙ СТАНДАРТ УКРАЇНИ

Метрологія

МІКРОСКОПИ СКАНУВАЛЬНІ ЗОНДОВІ АТОМНО-СИЛОВІ

Методика повірки

(ГОСТ 8.593-2009, IDТ)
ДСТУ ГОСТ 8.593:2014

 Київ
МІНЕКОНОМРОЗВИТКУ УКРАЇНИ
2015

ПЕРЕДМОВА

1 ВНЕСЕНО: Державне підприємство «Український науково-дослідний і навчальний центр проблем стандартизації, сертифікації та якості» (   
(ДП «УкрНДНЦ»))

ОФОРМЛЕННЯ: С. Семенюк

2 НАДАНО ЧИННОСТІ: наказ Мінекономрозвитку України від 28 липня 2014 р. № 886 з 2014-11-01

3 Національний стандарт відповідає ГОСТ 8.593-2009 ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (Державна система забезпечення єдності вимірювань. Мікроскопи сканувальні зондові атомно-силові. Методика повірки)

Ступінь відповідності - ідентичний (IDT)

Цей стандарт видано на підставі Угоди про проведення узгодженої політики в сфері стандартизації, метрології і сертифікації від 13.03.1992 р.

4 УВЕДЕНО ВПЕРШЕ

НАЦІОНАЛЬНИЙ ВСТУП

Цей стандарт є ідентичний ГОСТ 8.593-2009 ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомносиловые. Методика поверки (Державна система забезпечення єдності вимірювань. Мікроскопи сканувальні зондові атомно-силові. Методика повірки).

Технічний комітет, відповідальний за цей стандарт, - ТК 63 «Загальні норми і правила державної системи забезпечення єдності вимірювань».

До стандарту внесено такі редакційні зміни:

- на сторінці 7 вилучено інформацію стосовно коду УДК, МКС, ОКП, групи згідно з КГС;

- долучено структурні елементи стандарту: «Титульний аркуш», «Передмову», «Національний вступ» та «Бібліографічні дані», які оформлено згідно з вимогами національної стандартизації України.

ГОСТ 12.2.061-81, на який є посилання в «Нормативных ссылках», прийнято в Україні методом підтвердження як ДСТУ ГОСТ 12.2.061:2009.

ГОСТ ИСО 14644-1-2002, на який є посилання в «Нормативных ссылках», прийнято в Україні як ДСТУ ГОСТ ИСО 14644-1:2004.

ГОСТ 8.591-2009 та ГОСТ 8.592-2009, на які є посилання в «Нормативных ссылках», прийнято в Україні як ДСТУ ГОСТ 8.591:2014 та ДСТУ ГОСТ 8.592:2014, відповідно.

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
(МГС)

INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION
(ISC)

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ ГОСТ 8.593-2009

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ

Методика поверки

Москва
Стандартинформ
2010

Предисловие

Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0-92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения» и ГОСТ 1.2-2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, принятия, применения, обновления и отмены»

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия), Федеральным государственным учреждением «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»(Россия)

2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол № 36 от 11 ноября 2009 г.)

За принятие проголосовали:

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Содержание

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Операции и средства поверки

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки и подготовка к ней

8 Проведение поверки

9 Обработка результатов измерений

10 Оформление результатов поверки

ГОСТ 8.593-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Государственная система обеспечения единства измерений

 МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes.
Verification method

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее - микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10^-9 до 10^-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные стандарты:

ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха