ДСТУ EN 60749-7:2022 Напівпровідникові прилади. Методи механічних і кліматичних випробувань. Частина 7. Вимірювання вмісту внутрішньої вологи та аналіз інших залишкових газів (EN 60749-7:2011, IDT; IEC 60749-...

ДСТУ 60749-7:2022
(EN 60749-7:2011, IDT; IEC 60749-7:2011, IDT)

Напівпровідникові прилади. Методи механічних і кліматичних випробувань.
Частина 7. Вимірювання вмісту внутрішньої вологи та аналіз інших залишкових газів  

 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Foreword

1 Scope

2 Normative references

3 Terms and definitions

4 Test apparatus

4.1 Mass spectrometer method

4.2 Mass spectrometer

4.3 Vacuum opening chamber

4.4 Piercing arrangement

4.5 Pressure-sensing device

5 Procedure

6 Failure criteria

7 Implementation

8 Summary

Bibliography