ДСТУ EN 62047-12:2022 Прилади напівпровідникові. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 12. Метод випробування тонкоплівкових матеріалів на втому у разі згинання з використанням резонансної вібрації структур...

ДСТУ EN 62047-12:2022 Прилади напівпровідникові. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 12. Метод випробування тонкоплівкових матеріалів на втому у разі згинання з використанням резонансної вібрації структур MEMS (EN 62047-12:2011, IDT; IEC 62047-12:2011, IDT)

Англійська

31.12.2023

28.12.2022

Наказ від 28.12.2022 № 285 Про пакетне прийняття європейських нормативних документів CEN/CENELEC

ДСТУ (Державний Стандарт України)

ДСТУ EN 62047-12:2022

ДП «Український науково-дослідний і навчальний центр проблем стандартизації, сертифікації та якості» (ДП «УкрНДНЦ»)

Із змінами і доповненнями, внесеними наказами ДП «УкрНДНЦ» від 13.04.2023 № 64