ДСТУ EN 62374-1:2022 Полупроводниковые приборы. Часть 1. Тест на пробой диэлектрика, зависящий от времени (TDDB) для межметаллических слоев (EN 62374-1:2010, IDT; IEC 62374-1:2010, IDT)

ДСТУ EN 62374-1:2022
(EN 62374-1:2010, IDT; IEC 62374-1:2010, IDT)

Напівпровідникові прилади. Частина 1. Тест на
пробій діелектрика, що залежить від часу
(TDDB) для міжметалевих шарів

 
 
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

FOREWORD

1 Scope

2 Terms and definitions

3 Test equipment

4 Test samples

4.1 General

4.2 Test structure

5 Procedures

5.1 General

5.2 Pre-test

5.3 Test conditions

5.4 Failure criterion

6 Lifetime estimation

6.1 General

6.2 Acceleration model

6.3 Formula of E model

6.4 A procedure for lifetime estimation

7 Lifetime dependence on inter-metal layer area

8 Summary

Annex A (informative) Engineering supplementation for lifetime estimation

Bibliography