ДСТУ EN 62418:2022 Полупроводниковые приборы. Испытание на пустоту под напряжением металлизации (EN 62418:2010, IDT; IEC 62418:2010, IDT)

ДСТУ EN 62418:2022
(EN 62418:2010, IDT; IEC 62418:2010, IDT)

Напівпровідникові прилади. Випробування на
 порожнечу під напругою металізації

 
 
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

FOREWORD

1 Scope

2 Test equipment

3 Test structure

3.1 Test structure patterns

3.2 Line pattern

3.3 Via chain pattern

4 Stress temperature

5 Procedure

5.1 Stress void evaluation methods

5.2 Resistance measurement method

5.3 Inspection method

6 Failure criteria

6.1 Resistance method

6.2 Inspection method

7 Data interpretation and lifetime extrapolation (resistance change method)

8 Items to be specified and reported

8.1 Resistance change method

8.2 Inspection method

Annex A (informative) Stress migration mechanism

Annex В (informative) Technology-dependent factors for aluminium

Annex C (informative) Technology-dependent factors for copper

Annex D (informative) Precautions

Bibliography