ДСТУ 3741:2015 Метрологія. Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини

НАЦІОНАЛЬНИЙ СТАНДАРТ УКРАЇНИ

Метрологія
ДЕРЖАВНА ПОВІРОЧНА СХЕМА ДЛЯ ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ДОВЖИНИ

ДСТУ 3741:2015

Київ
   
(ДП «УкрНДНЦ»)
2015

ПЕРЕДМОВА

1 РОЗРОБЛЕНО: Національний науковий центр «Інститут метрології» (ННЦ «Інститут метрології») Мінекономрозвитку України

РОЗРОБНИКИ: В. Борох; Т. Гацкалова, канд. техн. наук; С. Ковшов; О. Костріков; В. Купко, канд. техн. наук (науковий керівник); О. Любжин; Б. Нескоромний

2 ПРИЙНЯТО ТА НАДАНО ЧИННОСТІ: наказ    
(ДП «УкрНДНЦ») від 28 травня 2015 p. № 45

3 НА ЗАМІНУ ДСТУ 3741-98

ЗМІСТ

1 Сфера застосування

2 Первинний і вторинні еталони

2.1 Державний первинний еталон

2.2 Вторинні еталони

2.2.1 Вторинні еталони частини 1

2.2.2 Вторинні еталони частини 2

2.2.3 Вторинні еталони частини 3

2.2.4 Вторинні еталони частини 4

2.2.5 Вторинні еталони частини 5

3 Робочі еталони

3.1 Робочі еталони частини 1

3.2 Робочі еталони частини 2

3.3 Робочі еталони частини 3

3.4 Робочі еталони частини 4

3.5 Робочі еталони частини 5

4 Робочі засоби вимірювальної техніки

4.1 Робочі засоби вимірювальної техніки частини 1

4.2 Робочі засоби вимірювальної техніки частини 2

4.3 Робочі засоби вимірювальної техніки частини 3

4.4 Робочі засоби вимірювальної техніки частини 4

4.5 Робочі засоби вимірювальної техніки частини 5

Додаток А Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини. Частина 1. Джерела випромінювання та засоби вимірювання довжини хвиль

Додаток Б Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини. Частина 2. Штрихові міри довжини та вимірювачі переміщень

Додаток В Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини. Частина 3. Плоскопаралельні кінцеві міри довжини та вимірювальні кільця

Додаток Г Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини. Частина 4. Віддалеміри та приймачі супутникових навігаційних систем

Додаток Д Державна повірочна схема для засобів вимірювання довжини. Частина 5. Засоби мікроскопії, вимірювачі нанопереміщень та міри розмірних параметрів наноструктур

НАЦІОНАЛЬНИЙ СТАНДАРТ УКРАЇНИ

МЕТРОЛОГІЯ
ДЕРЖАВНА ПОВІРОЧНА СХЕМА ДЛЯ ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ДОВЖИНИ

МЕТРОЛОГИЯ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ

METROLOGY
STATE VERIFICATION SCHEDULE FOR MEANS MEASURING LENGTH

Чинний від 2016-01-01

1 СФЕРА ЗАСТОСУВАННЯ

Цей стандарт поширюється на державну повірочну схему для засобів вимірювання довжини в діапазоні від 1 • 1СГ⁹ м до 1 • 10⁵ м і довжин хвиль у діапазоні від 0,2 мкм до 50 мкм (додатки А, Б, В, Г, Д) і встановлює призначення державного первинного еталона одиниці довжини, комплекс основних засобів вимірювальної техніки, які входять до його складу, основні метрологічні характеристики еталона та порядок передавання розміру одиниці довжини від державного еталона за допомогою вторинних та робочих еталонів робочим засобам вимірювальної техніки з зазначанням похибок та основних методів повірки (калібрування).

Повірочна схема складається з таких п’яти частин:

— Частина 1. Джерела випромінювання та засоби вимірювання довжини хвиль (додаток А);

— Частина 2. Штрихові міри довжини та вимірювачі переміщень (додаток Б);

— Частина 3. Плоскопаралельні кінцеві міри довжини та вимірювальні кільця (додаток В);

— Частина 4. Віддалеміри та приймачі супутникових навігаційних систем (додаток Г);

— Частина 5. Засоби мікроскопії, вимірювачі нанопереміщень та міри розмірних параметрів наноструктур (додаток Д).

2 ПЕРВИННИЙ І ВТОРИННІ ЕТАЛОНИ

2.1 Державний первинний еталон

2.1.1 Державний первинний еталон призначено для відтворювання, зберігання та передавання розміру одиниці довжини вторинним еталонам, робочим еталонам та робочим засобам вимірювальної техніки методом звіряння за допомогою компаратора, звірянням за допомогою мір порівняння, методом прямих вимірювань та методом безпосереднього звіряння.

2.1.2 В основу вимірювання довжини має бути покладено одиницю, яку відтворюють зазначеним еталоном.

2.1.3 Державний первинний еталон складається з комплексу таких засобів вимірювальної техніки:

— джерела первинного еталонного випромінювання — трьох гелій-неонових лазерів, стабілізованих за насиченим поглинанням у парах йоду-127;

— еталонного спектрокомпаратора для досліджування еталонних джерел випромінювання та звіряння довжин хвиль первинного і вторинного еталонного випромінювання;

— еталонного інтерференційного компаратора для вимірювання довжини штрихових та кінцевих мір.

2.1.4 Номінальне значення довжини, яке відтворюється державним первинним еталоном, дорівнює 1 м.

2.1.5 Державний первинний еталон має забезпечувати відтворювання одиниці довжини з відносним середнім квадратичним відхилом результату вимірювань S_B, який не перевищує

2,5 • 10^-11, якщо кількість незалежних вимірювань не менше ніж 50.

Відносна невилучена систематична похибка первинного еталона ©₀ не повинна перевищувати 1,2 • 10^-11.

Відносна нестабільність первинного еталона за рік v_B становить 7 • 10^-12.

Розширена невизначеність еталона за довірчою ймовірністю 0,95 і коефіцієнтом охвату, що дорівнює 2, становить u = 2,6 • 10"¹¹.

2.1.6 Для забезпечування відтворювання одиниці довжини з зазначеною точністю потрібно дотримуватися правил зберігання та застосовування еталона, які затверджено у встановленому порядку.

2.1.7 Державний еталон застосовують для передавання розміру одиниці довжини: вторинним еталонам — частотно-стабілізованим лазерам неперервного випромінювання, інтерференційній установці для повірки плоскопаралельних кінцевих мір довжини, інтерференційній установці для повірки штрихових мір довжини, інтерференційній установці для повірки вимірювальних стрічок та вимірювачів лінійних переміщень, інтерференційній установці для повірки вимірювальних кілець, робочим еталонам — кінцевим та штриховим мірам довжини 1-го розряду, а також робочим засобам вимірювальної техніки — плоскопаралельним кінцевим мірам довжини класів точності 00 і 01 та вимірювачам лінійних переміщень методом звіряння за допомогою компаратора, мір порівняння, методом прямих вимірювань та методом безпосереднього звіряння.

2.2 Вторинні еталонии

2.2.1 Вторинні еталони частини 1

2.2.1.1 Як вторинні еталони використовують комплекс засобів вимірювальної техніки, який складається з лазерів неперервного випромінювання, стабілізованих за частотою за допомогою атомних та молекулярних реперів у діапазоні від 0,3 мкм до 11 мкм.

2.2.1.2 Відносний середній квадратичний відхил S_Ie результатів звірянь вторинних еталонів з первинним еталоном не повинен перевищувати границь від 2,8 • 10^-111 до 1 • 10^-9 для відповідних типів лазерів.

2.2.1.3 Вторинні еталони застосовують для передавання розміру одиниці довжини вторинному еталону — установці дифрактометричній для повірки періодичних мір (додаток Д), вторинному еталону — вимірювальному комплексу зондової, електронної мікроскопії та інтерферометрії для повірки мір розмірних параметрів наноструктур та вимірювачів нанопереміщень (додаток Д), робочим еталонам 1-го розряду — спектральним лампам та робочим еталонам 2-го розряду — вимірювачам довжин хвиль лазерів, вимірювачам довжин хвиль лазерів імпульсного випромінювання, спектральним лампам і стандартним зразкам спектра поглинання та пропускання, а також робочим засобам вимірювальної техніки частотно-стабілізованим та нестабілізованим лазерам неперервного випромінювання, вимірювачам довжини хвиль лазерів неперервного випромінювання, лазерним спектрометрам та вимірювачам довжини хвиль лазерів імпульсного випромінювання методом прямих вимірювань та звірянням за допомогою компаратора.