ДСТУ EN 62047-2:2022 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов(EN 62047-2:2006, IDT; IEC 62047-2:2006, IDT)

ДСТУ EN 62047-2:2022
(EN 62047-2:2006, IDT; IEC 62047-2:2006, IDT)

Напівпровідникові пристрої. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 2. Метод випробування на розтяг тонкоплівкових матеріалів

 
   
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Foreword

Endorsement notice

1 Scope

2 Normative references

3 Symbols and designations

4 Testing method and test apparatus

4.1 Method of gripping

4.2 Method of loading

4.3 Speed of testing

4.4 Force measurement

4.5 Elongation measurement

4.6 Stress-strain curve

4.7 Environment control

5 Test piece

5.1 General

5.2 Plane shape of test piece

5.3 Test piece thickness

5.4 Gauge mark

6 Test report

Annex A (informative) Test piece grip methods

Annex B (normative) Testing conditions

Annex C (informative) Test piece

Annex ZA (normative) Normative references to international publications with their corresponding European publications