ДСТУ EN 62047-3:2022 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Тонкопленочный стандартный испытательный образец для испытания на растяжение (EN 62047-3:2006, IDT; IEC 62047-3:20...

ДСТУ EN 62047-3:2022
(EN 62047-3:2006, IDT; IEC 62047-3:2006, IDT)

Напівпровідникові прилади. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 3. Тонкоплівковий стандартний випробувальний зразок для випробування на розтяг

 
   
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Foreword

1 Scope

2 Normative references

3 Test piece materials

4 Test piece fabrications

5 Plane shape of test piece

6 Test piece thickness

7 Gauge mark

8 Test

9 Document attached to standard test pieces

Annex A (informative) Test piece

Annex ZA (normative) Normative references to international publications with their corresponding European publications