ДСТУ EN 62047-4:2022 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 4. Общая спецификация для MEMS (EN 62047-4:2010, IDT; IEC 62047-4:2008, IDT)

ДСТУ EN 62047-4:2010
(EN 62047-4:2010, IDT; IEC 62047-4:2008, IDT)

Напівпровідникові пристрої. Мікроелектромеханічні пристрої. Частина 4. Загальна специфікація для MEMS

 
   
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

1 Scope

2 Normative references

3 Terms, definitions, units and symbols

4 Standard environmental conditions

5 Marking

5.1 Device identification

5.2 Device traceability

5.3 Packing

6 Quality assessment procedures

6.1 General

6.1.1 Eligibility for qualification and/or capability approval

6.1.2 Primary stage of manufacture

6.1.3 Formation of inspection lots

6.1.4 Structurally similar device

6.1.5 Subcontracting

6.1.6 Incorporated components

6.1.7 Validity of release

6.2 Qualification approval procedure

6.2.1 Qualification approval testing

6.2.2 Environmental and climatic tests

6.2.3 Granting of qualification approval

6.2.4 Statistical sampling procedures

6.2.5 Endurance tests

6.2.6 Endurance tests where the failure rate is specified

6.2.7 Accelerated test procedures

7 Test and measurement procedures

7.1 Standard conditions and general precautions

7.1.1 Standard conditions

7.1.2 General precautions

7.1.3 Precision of measurements

7.2 Physical examination

7.2.1 Visual examination

7.2.2 Dimensions

7.3 Climatic and mechanical tests

7.4 Alternative test methods

Annex A (normative) Sampling procedures

Annex B (informative) Classification for MEMS technologies and devices

Bibliography