ДСТУ EN ISO 14644-5:2022 Чистые помещения и соответствующая контролируемая среда. Часть 5. Операции (EN ISO 14644-5:2004, IDT; ISO 14644-5:2004, IDT)

ДСТУ EN ISO 14644-5:2022
(EN ISO 14644-5:2004, IDT; ISO 14644-5:2004, IDT)

Чисті приміщення та відповідне контрольоване середовище. Частина 5. Операції

 
   
 
 
     
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Foreword

Introduction

1 Scope

2 Normative references

3 Terms and definitions

4 Specification of requirements

Annex A (informative) Operational systems

Annex B (informative) Cleanroom clothing

Annex C (informative) Personnel

Annex D (informative) Stationary equipment

Annex E (informative) Materials and portable equipment

Annex F (informative) Cleanroom cleaning

Bibliography