ДСТУ EN 60749-8:2022 Напівпровідникові прилади. Методи механічних і кліматичних випробувань. Частина 8. Ущільнення (EN 60749-8:2003, IDT; IEC 60749-8:2002, IDT)

ДСТУ EN 60749-8:2022
(EN 60749-8:2003, IDT; IEC 60749-8:2002, IDT)

Напівпровідникові прилади. Методи механічних і
кліматичних випробувань. Частина 8. Ущільнення

 
   
 
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Introduction

1 Scope and object

2 Normative references

3 General terms

3.1 Units of pressure

3.2 Standard leak rate

3.3 Measured leak rate

3.4 Equivalent standard leak rate

4 Bomb pressure test

5 Fine leak detection: radioactive krypton method

5.1 Object

5.2 General description

5.3 Personnel precautions

5.4 Procedure

5.5 Specified conditions

5.6 Gross leak detection

6 Fine leak detection: tracer gas (helium) method with mass spectrometer

6.1 General

6.2 Method 1: specimens not filled with helium during manufacture - Fixed method

6.3 Method 2: specimens not filled with helium during manufacture - Flexible method

6.4 Method 3: specimens filled with helium during manufacture

6.5 Gross leak detection

7 Gross leaks, perfluorocarbon vapour method using electronic detection apparatus

7.1 Object

7.2 General description

7.3 Test apparatus

7.4 Test method

7.5 Reject criterion

8 Gross leak - Perfluorocarbon - bubble detection method

9 Test condition E, weight-gain gross-leak detection

9.1 Object

9.2 Equipment

9.3 Procedure

9.4 Failure criteria

10 Penetrant dye gross leak detection

11 Gross leak re-test

Annex ZA (normative) Normative references to international publications with their corresponding European publications