ДСТУ EN ISO 14644-15:2022 Чистые помещения и соответствующая контролируемая среда. Часть 15. Оценка пригодности для использования оборудования и материалов по концентрации химических веществ в воздухе (EN ISO...

ДСТУ EN ISO 14644-15:2022
(EN ISO 14644-15:2017, IDT; ISO 14644-15:2017, IDT)

Чисті приміщення та відповідне контрольоване середовище.
Частина 15. Оцінювання придатності для використання
обладнання та матеріалів за концентрацією
хімічних речовин у повітрі

 
   
 
Не є офіційним виданням.
Офіційне видання розповсюджує національний орган стандартизації
(ДП «УкрНДНЦ» http://uas.gov.ua)

Contents

Foreword

Introduction

1 Scope

2 Normative references

3 Terms and definitions

4 Symbols

5 Test setup

5.1 General

5.2 Closed design

5.3 Closed design special application

5.4 Open design

6 Representative mode

6.1 Equipment

6.2 Material

7 Visual inspection

7.1 General

7.2 Equipment

7.3 Material

8 Test description

9 Calculation of the measured concentrations

10 Calculation of specific emission rate

10.1 Calculation of specific emission rate - Closed design

10.2 Calculation of specific emission rate - Open design

11 Assessment

11.1 General

11.2 Required input data

11.3 Calculation to determine the effect on a cleanroom or controlled zone

11.4 Assessment of the suitability of material(s) or equipment for an existing cleanroom or controlled zone

12 Documentation

12.1 General

12.2 Common documentation requirements

12.3 Test documentation

12.4 Visual inspection

Annex A (informative) Example calculation for suitability assessment of one equipment (existing installation)

Annex B (informative) Example calculation for suitability assessment of wall material (existing cleanroom/clean zone installation)

Annex C (informative) Suitability assessment of a combination of equipment and floor material in a cleanroom to be designed

Bibliography